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半導體製程@ 這是我的部落格 - 隨意窩

大部分的多晶矽與非晶矽都採用LPCVD反應器。氮化矽主要是被用來當作LOCOS製程中的抗氧化遮蔽層與在STI製程中的CMP研磨停止層，而 ...

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