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usg 半導體

最近研讀半導體製程的書(羅正宗寫的那本) 唸到加熱製程發現有sti跟usg這兩個 ... USG USG 10 STI:氧化矽之CMP，停止在氮化矽P-Epi P-Wafer P-Well N-Well Nitride ...

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