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半导体中的STI是什么意思 - 百度知道

浅沟道隔离特点： 能实现高密度的隔离，适合于深亚微米器件和DRAM等高密度存储电路。 一般在器件制作之前进行，热预算小。 STI技术工艺步骤：首先，类似 ...

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