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半导体晶元制造工序的前半部分)1. 元件隔离 - USJC
在这里我们介绍的是一种叫做STI(Shallow Trench Isolation)的技术。 索引. 1-1. 氧化+氮化膜生长; 1-2. 抗蚀剂图案形成; 1 ...
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