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FE-SEM 操作手冊 - 明志科技大學-材料工程系

1. 2. 3. 4. (1) 用來移動specimen stage 的操縱桿。 ... (1) 按下PVG(Penning Gauge)確認specimen chamber之真空度達9.63×10-5 Pa後，按下HT使其由藍變.

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