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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

工廠中矽片（wafer）的製造過程可分哪幾個工藝過程(module)？ ... 答：Turn Ratio, 晶片之移動速度; 即1天內移動了幾個製程stage. AMHS名詞解釋?

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