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Air bearing stage - 空氣軸承定位平台 - 大銀微系統

Air bearing stage. 空氣軸承定位平台. 針對先端半導體與面板製程設備所開發之奈米空氣軸承定位平台。領先同業採用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態反作用力平衡與 ...

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