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摻雜分析SIMS 和SRP - SGS

在半導體技術中，摻雜物是一種添加在基板或層中的微量元素，用以確定其傳導性。 摻雜是半導體工業中的主要工序之一。 摻雜分佈中的微小變化會大幅度影響微電子器件的工作， ...

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