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扫描电容显微镜（SCM） - Bruker

将载波浓度映射到非一级掺杂的半导体样品，通常都依赖于二次离子质谱仪（SIMS）、扩散电阻分析（SRP） 和一维电容电压（C-V） 等工具。这些仪器生成一个维度的数据， ...

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