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電子工程學系電子研究所碩士班 - 國立交通大學

3.3.1 SRP 量測. SRP 為一種量測半導體載子濃度分佈的方法。其試片準備方式是將試. 片固定在具有已知斜角(bevel angle)的圓柱上，再置於玻璃板上利用鑽石膏.

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