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超越摩爾定律-積層型三維積體電路製造技術

楊智超博士任職台灣半導體研究中心（TSRI）晶片整合技術小組副研究員，研究專長包括三維 ... 奈米鰭式電晶體(FinFET)及相關積層型三維堆疊積體電路(如SRAM、 Decoder…

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