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溶膠凝膠法製備InGaZnO4 透明導電薄膜的光電性質研究

國立交通大學材料工程與科學學系. 中文摘要. 本論文研究之IGZO 透明導電薄膜是使用溶膠凝膠(sol-gel)法來. 製造，此方式是利用旋轉塗佈技術來沉積IGZO 薄膜，並且可以 ...

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