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Slurry Pump - 半導體設備消耗性零件

Pillar Slurry Pump. 用途: 在半導體製造的化學機械研磨(CMP)製程中提供研磨液(Slurry)的供應與循環. 特點: 1. Bellows採垂直方向設計, 研磨液不會累積阻塞在Bellows中.

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