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銅化學機械研磨製程及研磨液簡介 - 材料世界網

優點：第一段slurry因不需考量barrier. 及TEOS的研磨速率比例，可大. 幅改善throughput ；第二段 slurry理論上等速的磨掉Cu， barrier 及TEOS ，可改善 dishing。 ．缺點： ...

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