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化學機械研磨製程機上量測技術- 科技新知 - 產業學習網

... 上方管路將其化學研磨液(slurry)送進CMP腔體內，其研磨液主要由化學添加劑與懸浮粒子組成，透過承載台(wafer chuck)吸附晶圓並施加向下壓力，當接觸研磨液時，化學 ...

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