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研磨液特性于化学机械平坦化之探讨 - 百度文库

由上述可知影響CMP 的因子包含研磨液(slurry)， 拋光墊(pad)，轉速，下壓力，溫度等，其中研磨液對於工件的化學反應被認為是影響平坦化表現的最重要參數之一，本文將 ...

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