化學 機械研磨(CMP)的原理非常簡單,大家一定都看過銅油去擦銅器(例如:銅扣、銅環 ... 正面朝下」,吸附在晶圓基座的下方,同時在橡膠墊上注入「漿料(Slurry)」,漿料 ...
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