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CMP无损抛光法宝：研磨液（Slurry） - 知乎专栏

CMP全称为Chemical-Mechanical Planarization，直译过来就是“化学机械平坦化”的意思。 研磨液，英文名称为Slurry，也可以译为“悬浮液”，指固体颗粒搅拌到 ...

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