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slurry化學
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CMP是什麼意思?製程深入介紹,清楚瞭解技術與原理!
所謂的「CMP」,意為「化學機械研磨,Chemical-Mechanical Polishing」的縮寫。是指使用研磨劑(Slurry),將晶圓減薄或是鏡面化的一道工藝。
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