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漏的定义，单位｜检漏仪的基础知识 - ULVAC SHOWCASE

单位时间[sec]气体移动的体积（绝对圧力[Pa]×容积[m 3 ]); 由于是很小的数值一般 ... Pa・m 3 /sec, mbar・l/sec, Torr・l/sec, atm・cc/sec, lusec, sccm, slm, Mol/sec.

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