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多晶矽氮氧化矽(Poly/SiON) - 電子時報

多晶矽氮氧化矽(Poly/SiON)是一項由台積電於2009年6月18日正式對外發布的28奈米技術，同時配合配合雙/三閘極氧化層(dual/triple gate oxide)製程， ...

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