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氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究- 月旦知識庫

江榮隆,黃安立,射頻濺鍍,氮化鋁,氧化銦錫玻璃,場發射掃描式電子顯微鏡, ... 基板上，以形成AlNX/ITO Glass、AlNX/Si 及AlNX/SiO2/Si 之結構，並利用場發射掃描式電子 ...

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