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一、前言 - 國立中山大學

結構SiO2 薄膜也漸漸開始被重視，因為它有低的成長溫度、簡單的設. 備和低熱應力等等因素[4~6]， ... 質好壞，以抓取氧化層品質較好的成長溶液濃度條件，以掃描式電子.

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