由於射頻濺射可以在大面積基片上沉積薄膜,所以從經濟角度來考慮,射頻濺射鍍膜具有重要的 ... 60-300°C a-Si:H Si Ar 267MPa KBr, 100-300°C SiO2 SiO2 Ar 1.9Pa 玻璃, ...
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