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富矽氧化物薄膜中的Si /SiO2超晶格| 92a28advanced - Wix.com
在研究富矽二氧化矽(SRO)薄膜的奈米結構與成分時,發現濺鍍的SRO薄膜無須熱處理會自發的相分離,形成不同矽/氧比的週期性超晶格結構。穿透式電子顯微鏡和x光電子能譜 ...
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