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以選擇性化學氣相沈積技術應用在矽奈米量子點製作之研究(2/2)
關鍵字:奈米結構、超薄氧化層、矽量子點、選擇性化學氣相沈積. 1、前言 ... 終端(termination)方式來延續Si 表面與SiO2 表面對. 反應物的活性差異。Fig.
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