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第十章介電質薄膜SiO , Si N

SiO2. SiO2. Void. Al·Si·Cu. SiO2. Si. Al·Cu. W. 大開口的接觸窗. PVD 金屬可填入. 小開口的接觸窗. PVD 金屬填入. 產生空洞. 小開口的接觸窗. CVD鎢填入.

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