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Page 8 - 第三代半導體—— 碳化矽材料製程與分析

第三代半導體—— 碳化矽材料製程與分析. ... 爐體的石墨電極通上電流產生碳熱反應(Carbothermic reaction)，其反應式為SiO2+3C→SiC+2CO，進而在石墨電極上產生SiC。

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