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縱橫半導體檢測—TOF-SIMS扮演要角 - EDN Taiwan

氮氧化矽(Silicon Oxynitride，SiON)具有良好的光學特性，其折射率在氮化矽(Si3N4)和二氧化矽(SiO2)之間， 廣泛應用於光學元件。除了作為太陽能電池的抗反射層和鈍化層 ...

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