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潔淨室晶圓表面之無機性/有機性氣體吸附沈積行為之探討

材質之沈積比較方面，研究結果顯示SiO2 表面膜將比Si3N4 表面膜更容易使得有機物沈積於表 ... 關鍵詞：微量分析、半導體污染控制、空降分子污染物(AMC)、吸附係數.

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