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sio2半導體
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http://web2.yzu.edu.tw/e_news/147/think/2.htm
「有機材料覆蓋之新型Si/SiO2/Si結構積體光學波導耦合器」
此項發明的特色在於採用絕緣層上矽晶(SOI)片製作光學耦合器,再覆以有機材料為覆蓋層,較傳統無覆蓋層波導耦合器有較佳的傳播特性及耦合效果。由於國內外半導體廠商正積極 ...
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