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sio2半導體
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電子/半導體SOG spin on glass coating。旋轉塗佈玻璃。 - 解釋頁
電子/半導體 ... 為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。 ... 之後,再經過熱處理,可去除溶劑,在晶圓表片上留下固化(Curing)後近似二氧化矽(SiO2)的介電材料。
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