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電漿耦合式離子蝕刻系統 - 高雄大學貴重儀器中心

儀器資訊 · 系所單位 電機工程學系 · 放置地點 工學院606-1薄膜實驗室 · 服務項目 薄膜蝕刻，可蝕刻種類： 1. 絕緣體：SiO2，Si3N4，Al 2O3，.... 2.半導體： Si，Ge，GaAs， ...

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