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無機薄膜圖形化技術-技術移轉-產業服務

半導體 製程往往在無機薄膜製作圖形化，使用昂貴製程包括黃光製程、雷射、蝕刻膠和 ... 化技術，可在極短時間內蝕刻去除各種半導體製程常用之鈍化膜(SiNx、SiO2 、Al2O3 ...

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