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CN106684012A - SiO2中电荷与SiO2/Si界面态的分离测试方法

这两种缺陷都会对器件的性能产生不利的影响。例如，界面态与SiO 2中的电荷就会引起金属-氧化物-半导体（MIS）器件阈值电压的偏移 ...

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