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半導體用矽晶圓材料發展概況- 產業技術評析
透過矽晶圓製程來生成粗矽,或稱不純矽(純度98%,冶金級):SiO2+C=Si+CO2。再以鹽酸氯化並經蒸餾後,製成了11N的高純度多晶矽,再以柴可拉斯基法將 ...
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