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半導體用矽晶圓材料發展概況- 產業技術評析

透過矽晶圓製程來生成粗矽，或稱不純矽(純度98%，冶金級)：SiO2+C=Si+CO2。再以鹽酸氯化並經蒸餾後，製成了11N的高純度多晶矽，再以柴可拉斯基法將 ...

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