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光電產業次微米粒狀物壓縮減容技術應用案例介紹

半導體 產業進行CVD. 機台正常維護保養時，會以House Vacuum( 低真空系統) 清理機台腔. (Chamber)，二氧化矽(SiO2)包裹矽甲烷(SiH4)氣體的粉末會累積在集塵機的. 濾袋上， ...

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