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第9 章薄膜製作9-1 氧化法9-1-1 矽的氧化

氧化反應速率，及(2) 氧在SiO2 層裡的擴散速率，所. 決定的。 ... 以熱氧化法對矽晶片表面進行氧化所生成的SiO2 層， ... 的一種半導體薄膜沈積技術。

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