SiO. 2. + 6HF H. 2. SiF. 6. + 2H. 2. O. ▫ 廣泛的使用在化學氣相沉積薄膜品質控制. ▫ BOE: 緩衝二氧化矽蝕刻. ▫ WERR: 濕式蝕刻速率品質 ...
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