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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：在柵極(Poly)的兩旁用dielectric（介電質）形成的側壁，主要由Ox/SiN/Ox組成。 蝕刻spacer 時要注意其CD大小，profile(剖面輪廓)，及remain oxide( ...

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