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二次離子質譜分析儀(SIMS) - iST宜特
以下是宜特測試SIMS機台的最高極限,分析半導體矽晶圓之砷(As)離子植入的濃度,從圖可了解,SIMS可判斷高達0.2 ppba的偵測極限。
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