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IPD在5G智慧手機的應用- 產業技術評析

目前IPD元件的生產大多是採用半導體元件製程方式來生產，藉由在Si基板蝕刻 ... 如在兩個層別間，鍍上SiO2/ SiN/ Si3N4等介電材料，可產生3D結構的電容 ...

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