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第十章介電質薄膜SiO , Si N

SiN. FSG. 34. PVD沈積Ta阻擋層與銅種晶層. Ta. FSG. Cu. Cu. Cu. FSG. FSG. SiN. Page 18 ... 銅與鉭CMP製程, CVD 氮化矽. FSG. Cu. SiN. Ta. FSG. Cu. Cu. SiN.

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