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飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS) PHI nanoTOF

原理說明指帶有幾千電子伏特能量的一次離子束入射樣品表面，在作用區域激發出不同粒子包括二次電子、中性微粒、二次離子、反射離子等，通過不同的探測器採集不同微粒可 ...

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