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二次イオン質量分析(SIMS) - 東芝ナノアナリシス

二次イオン質量分析法（SIMS）は、ppbレベルの極微量不純物元素を同定・定量できる非常に高感度な分析手法です。スパッタリングしながら測定するため、膜中の不純物の ...

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