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SIMS(二次離子質譜) - EAG - 歐陸檢驗

二次離子質譜（SIMS）可檢測極低濃度的摻雜劑和雜質。 該技術提供了從幾埃(Å) 到幾十微米(µm) 的廣泛深度範圍內的元素深度剖面。 樣品表面用一束初級離子（通常是O2 + ...

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