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TOF-SIMS - 纳米真空互联实验站
TOF-SIMS:. (1)细聚焦的离子束在样品表面扫描可获得二维成分图;. (2)用离子束将材料表面一层层除去的同时分析该层的质谱图,可获得三维的深度分布。
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