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二次离子质谱仪(SIMS)分析技术及其在半导体产业中的应用
昌鹏摘 要:二次离子质谱仪(SIMS)是一种成熟的应用广泛的表面分析技术,具有高灵敏度(ppm-ppb)和高分辨率。本文介绍了SIMS基.
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