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TOF SIMS - 二次离子质谱 - 赛默飞

二次离子质谱仪（SIMS）可加装在双束电镜（FIB-SEM）上，因为FIB切割过程中会产生离子化的粒子；与此同时，由于这些粒子来自非常浅的深度，所以这被认为是一种表面分析 ...

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