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二次離子質譜儀(SIMS)

片表面，產生離子化的二次粒子，再用質量分析儀加以偵測。圖11-2-55 簡單描. 述SIMS的分析原理。常用於二次離子質譜儀的一次離子物種包括O2. +?/sup>AO-，.

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